臭氧通過稱為裂解的過程滅活（殺死）細(xì)菌。裂解是破壞細(xì)胞壁膜的完整性。當(dāng)O3分子返回到O2時(shí)，臭氧會導(dǎo)致直接氧化。當(dāng)臭氧恢復(fù)為氧氣時(shí)發(fā)生的氧化爆發(fā)會導(dǎo)致放電，從而溶解任何相鄰細(xì)菌的細(xì)胞壁。此外，現(xiàn)在價(jià)態(tài)的氧原子(O)可以與任何碳原子結(jié)合生成CO，進(jìn)一步破壞細(xì)菌的細(xì)胞壁。臭氧反應(yīng)引起的氧化與活細(xì)菌、酶、蛋白質(zhì)、DNA、RNA的所有必需成分發(fā)生反應(yīng)。  

細(xì)菌對臭氧的氧化過程會破壞細(xì)胞壁和細(xì)胞膜，導(dǎo)致細(xì)胞內(nèi)部物質(zhì)從細(xì)胞膜中浸出。雖然臭氧氧化后可能會殘留死細(xì)菌細(xì)胞，但臭氧可以使所有活細(xì)菌失活。由于臭氧氧化的方法，沒有細(xì)菌對臭氧氧化“免疫”。臭氧具有滅活所有細(xì)菌類型的能力。

上圖反映細(xì)菌裂解步驟：

1、細(xì)菌細(xì)胞的計(jì)算機(jī)動(dòng)畫；

2、臭氧分子接觸細(xì)菌細(xì)胞壁的特寫鏡頭；

3、臭氧穿透細(xì)胞壁并引起裂解；

4、臭氧對細(xì)胞壁影響的特寫鏡頭；

5、更廣的視圖細(xì)菌細(xì)胞與許多臭氧分子接觸后的分解；

6、細(xì)胞壁破壞（裂解）。